半導体メーカー　熱衝撃試験装置の修理

兵庫県朝来市の半導体製造会社様にて、2021年3月に-70℃の熱衝撃試験装置（ヒートショックチャンバー）の出張修理をおこないました。

２元冷凍機の7.5kw圧縮機の交換が主な修理内容です。その他にもお客様の個々の希望に合わせて最適な方法を提案し、作業を行います。

今回の修理では事前に、弊社技術研究所で冷凍機油の入替えを行いました。

この画像は、圧縮器から油を吐き出しているようにも見えますが、封入されていた冷凍機油の排出作業を済ませた後に、オイル缶から油を吸い上げている時の様子です。

実は圧縮器の高圧吐出口に真空ポンプが繋がっており、圧縮器内は負圧（大気圧よりもかなり低い圧力〈低真空状態〉）になっているため、オイル缶の油は圧縮機の中に吸い上げられます。

圧縮機に冷凍機油を規定量入れた後、真空引を行いました。こちらの画像は、圧縮機のサイトグラスの様子です。このガラス窓を通じて、冷凍機油の状況を目視で確認します。油の中に泡が発生している様子が、お分かりいただけるでしょうか？この泡は、冷凍機油に含まれる水分が減圧沸騰により気体化したことで発生しています。泡を追い出して、冷凍機油の水分を除去します。

この後、窒素ガスを大気圧より高い圧力（0.05〜0.1MPa程度）で封入し、品質を保持する様にしました。

古い圧縮機はこちらです。

ここまでボロボロになるのは珍しいです。新しい圧縮機に取替えました。

この圧縮機は重量が100kg近くあったため、お客様のフォークリフトをお借りし、載せ換えを実施しました。

フォークリフトの免許を所持していますので、大型の圧縮機など重量物の交換も弊社にお任せください。

ご依頼いただいた熱衝撃試験装置はかなり古く、圧縮機以外の構成機器にも、埃や錆が溜まっていました。

↑このような状態になったら、買い替えをご検討ください。

修理作業の様子です。

また、2021年7月にも同社で別の熱衝撃試験装置の修理をおこないました。

こちらは２元冷凍機の低温側冷媒であるR508A超高圧冷媒（HFC+PFC）のスローリークに起因した降温不良が発生していました。冷媒を適正量充填し、リークチェックを実施。試運転によりサイクル試験を実施して動作を確認し、修理を完了させて頂きました。

過去に修理した装置についても簡易点検を実施し、お客様から

「修理の早い対応で、納入試験が再開できるので助かりました」

とお礼の言葉を頂くことが出来ました。

半導体メーカー等で用いられる熱衝撃試験装置などの環境試験装置、産業用冷熱機器の修理・点検・校正は株式会社新冷熱技研にお任せください。

環境試験装置、産業用冷熱機器、
恒温恒湿器、
チラー、特殊冷凍機
修理・点検・校正は 株式会社新冷熱技研 に
お任せください